精密陶瓷制造商
氮化鋁陶瓷、macor、氧化鋁陶瓷生產加工企業
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13412856568搜索關鍵詞： 氮化硅陶瓷加工 氮化鋁陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
| 產品名稱 | 半導體設備零件氧化鋁支撐環 |
| 加工精度 | 0.01mm |
| 是否定制 | 可按圖紙定制 |
| 粗糙度 | 0.05μm |
| 材料成分 | 氧化鋁 |
| 我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀！ |
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PRODUCT CATEGORIES
氧化鋁對準環與支撐環是半導體刻蝕、沉積等制程中的關鍵精密部件，憑借材料本征優勢，正在替代金屬與塑料結構。其首要價值在于超高尺寸穩定性：氧化鋁熱膨脹系數低，且硬度高，經精密磨削后圓度可控制在微米級，確保晶圓在升降溫循環中始終維持精準同心度，有效抑制邊緣偏差導致的良率損失。其次，氧化鋁具有優異的電絕緣與等離子體耐蝕性，擊穿電壓達20 kV以上，對含氟、含氯高能等離子體表現出極佳的化學惰性，可在腔體中穩定工作上千小時，顯著降低顆粒污染與金屬離子析出風險。其熱導率約30-40 W/m·K，能迅速將工藝熱量均勻散開，避免局部熱斑導致的晶圓翹曲。此外，氧化鋁可通過注塑-燒結實現凈成形，后期僅需微量精加工，綜合成本較氮化硅低30%以上，為12英寸乃至更先進制程的規模化應用提供了經濟可行的路徑。
