精密陶瓷制造商
氮化鋁陶瓷、macor、氧化鋁陶瓷生產(chǎn)加工企業(yè)
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13412856568搜索關(guān)鍵詞： 氮化硅陶瓷加工 氮化鋁陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
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碳化硅陶瓷現(xiàn)如今是一種先進的陶瓷材料，他具有很多的性能優(yōu)點，可圈可點的是他的導熱系數(shù)，他的導熱系數(shù)很好可以達到170W/m·k，他是半導體領(lǐng)域的經(jīng)常會用到的陶瓷，他還具有化學性能穩(wěn)定、熱膨脹系數(shù)小、硬度大、密度小、耐磨性能好等等優(yōu)良的特性，所以他被廣泛的應用在各個領(lǐng)域
在碳化硅半導體產(chǎn)業(yè)鏈中，主要有“碳化硅高純粉料→襯底→外延片→功率器件→模塊封裝→終端應用”等環(huán)節(jié)。
雖然碳化硅作為陶瓷材料受到的關(guān)注度遠不如其作為半導體材料，但其仍是一種應用極廣的陶瓷材料，甚至已經(jīng)成為航空航天、光刻機在內(nèi)的半導體設(shè)備等高精尖領(lǐng)域必不可少材料。
在高端光刻機中，涉及高效率、高精度、高穩(wěn)定性的運動控制技術(shù)和驅(qū)動技術(shù)，對結(jié)構(gòu)件的精度和結(jié)構(gòu)材料的性能提出了極高的要求。碳化硅陶瓷具有極高的彈性模量、導熱系數(shù)和較低的熱膨脹系數(shù)，不易產(chǎn)生彎曲應力變形和熱應變，并且具有極佳的可拋光性，可以通過機械加工至優(yōu)良的鏡面，因此采用碳化硅陶瓷作為光刻機用精密結(jié)構(gòu)件材料具有極大的優(yōu)勢。在光刻機中碳化硅陶瓷主要用于制造E-chuck、Vacumm-chuck、Block、磁鋼骨架水冷板、反射鏡、導軌等部件。
在刻蝕設(shè)備中，等離子體通過物理作用和化學反應會對設(shè)備器件表面造成嚴重腐蝕，一方面縮短部件的使用壽命，降低設(shè)備的使用性能，另一方面腐蝕過程中產(chǎn)生的反應產(chǎn)物會出現(xiàn)揮發(fā)和脫落的現(xiàn)象，在工藝腔內(nèi)產(chǎn)生雜質(zhì)顆粒，影響腔室的潔凈度。因此，刻蝕機腔體和腔體部件材料的耐等離子體刻蝕性能變得至關(guān)重要。
在刻蝕設(shè)備中，碳化硅被用于刻蝕機腔體和腔體部件、聚焦環(huán)、刻蝕環(huán)等關(guān)鍵部件。
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